Separador de gases

Para la fabricación de una columna en forma de espiral para la separación de gases fue necesaria la fabricación de canales en silicio y su posterior sellado empleando un proceso de pegado anódico irreversible de vidrio a silicio.

Este proceso de pegado, al ser robusto, evita la posibilidad de fugas en el dispositivo. Además, era necesario el alineamiento de la entrada y la salida del dispositivo, que se consiguió gracias a la compatibilidad del equipo de pegado con la alineadora.