Nanoinprimaketako litografiarako nikelezko zigiluak
Nanoinprimaketako litografiarako zigiluen propietateak hobetzea.
Propietate mekaniko eta iraunkortasun hobetuak dituzten nikelezko zigiluak lortzea.
Nanoinprimaketako litografian (NIL), siliziozko moldeak erabili izan dira.
Silizioaren berezko hauskortasunagatik, ordea, ez da komeni zigilu horiek denbora luzez behin eta berriz erabiltzea.
Gainera, zigilu handien kasuan —motibo asko izaten dituzte nanoeskalan— zigiluaren ukipen-eremua handitu egiten da NILen erretxinarekin, eta, horren ondorioz, hondatzeko arriskua handitu egiten da siliziozko zigilu bera behin eta berriz erabiltzen bada.
Arazo horiek erraz konpon daitezke metalezko moldeak erabiliz. Hori dela eta, elektroformatze bidez lortutako nikelezko zigiluak egin dira. Barne-tentsio txikiagoa dute, eta gainazalaren zimurtasuna ere txikiagoa da; siliziozko zigiluek baino propietate mekaniko hobeak eta iraunkortasun handiagoa dituzte.